真空斷路器在使用過程中發生的過電壓，給電力設備的絕緣帶來危害，因此應根據過電壓的類型采取相應的措施，以減少過電壓的產生和降低過電壓的數值，除真空斷路器制造工藝方面的問題外，可以加裝保護裝置以改變負載參數，從而達到目的。
2.1電容保護在電感負載端上并聯電容器，可以有效的降低負載阻抗，從而降低截流過電壓的幅值，還能減緩過電壓的前沿陡度，這不僅能保護感性負載，免遭截流過電壓的損害，還能減輕多次重燃過電壓對電動機絕緣的危害。真空斷路器與變壓器或電動機之間用電纜連接，由于電纜具有較大的分布電容，其作用等同于并聯電容，效果很好。
2.2阻容保護把電阻R與電容C串聯作為保護元件并聯在負載進線端構成RC過電壓抑制器。電容器既可以減緩過電壓的上升陡度，又可以降低負載的波阻抗，因而降低截流過電壓。電阻的作用是：當發生截流時，它的存在增加了高頻放電電路的衰減系數，可減少重燃次數和降低多次重燃過電壓，甚至可以有效的防止其發生。用RC抑制器來保護電動機等負載，效果最好。
2.3非線性電阻保護(1)采用普通避雷器與電容器并聯，普通避雷器能限制過電壓幅值，用電容器來減緩過電壓上升陡度。(2)采用金屬氧化物避雷器，它采用ZnO壓敏電阻，是無滅弧間隙的避雷器，具有半導體晶體管穩定的特性。在正常工作電壓下阻值很大，電流很小，當電壓增高至某一值后，阻值下降，呈現穩定特性。應當注意的是，采用金屬氧化物避雷器作過電壓保護，其型號要與系統電壓相符，和電感負載或電容器組容量應匹配恰當。
2.4電感保護在真空斷路器與電動機供電電纜之間串聯電抗線圈(或飽和電抗器)與電阻并聯組成的LR過電壓抑制器，從而抑制過電壓的上升陡度和峰值。